曝光类型

单面

曝光面积

110×110mm

曝光照度不均匀性

≤±5%

紫外光束角

≤5°

紫外光中心波长

365nm（出厂时标准配置为365nm，其他波段可选配，需在订货时提出）

紫外光源时间

≥2万小时

曝光分辨率

2μm

显微镜扫描范围

X：±50mm，Y：±50mm

对准范围

X、Y调节±6.5mm，Z向移动范围10mm，Q向360°粗调，±5°精调

套刻精度

2μm（用户的“版”、“片”精度必须符合国家规定，环境、温度、湿度、尘埃能得到严格控制，采用进口正性光刻胶，且匀胶厚度能得到严格控制）

曝光方式

接触式曝光

显微系统

单目CCD显微系统，2000倍金相同轴光显微镜；光学放大倍数0.7X-4.5X;高清2K工业CCD相机；LED同轴光源；13.3寸挂屏

掩模版尺寸

≤127×127mm

基片尺寸

≤Φ102mm

曝光定时

0～999.9秒（可调）

外形尺寸

603mm×535mm×723mm(高度不含支脚)

电源

单相AC220V 50HZ

设备所需能源

220V±10%，50HZ

基片厚度

≤5mm

快门形式

采用电子快门