红外探测器在军事侦查、遥感、通信、精确制导和航空航天等领域发挥着关键作用

在红外探测器领域，利用微纳结构提高光子的耦合效率和吸收率，保持器件光学响应的同时降低器件吸收层的厚度和体积，从而降低了器件的暗电流，提高了器件探测率。目前，在红外探测器研究中使用的微纳结构主要包括：介质型微纳结构、表面金属型微纳结构和三维等离子体腔型微纳结构等。这是微结构对红外探测器性能的增强首先体现在对特定入射光谱或宽光谱段的减反效果上。探测器光吸收率的大幅提高意味着可以使用更薄的吸收层材料，而微纳结构本身也可以有效减小器件光敏单元的体积，这使得器件与材料体积相关的本征暗电流明显减小，从而进一步提高红外探测器的探测率和综合性能。

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